日本ARK用于晶圓外圍器件曝光的UV-LED光源光學(xué)測(cè)量?jī)x

參考價(jià)	￥10000-￥100000

參考價(jià)

￥10000-￥100000

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱秋山科技（東莞）有限公司
品牌
型號(hào)
所在地東莞市
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
更新時(shí)間2024/3/23 7:47:06
訪問次數(shù)1563

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產(chǎn)品詳情

日本ARK用于晶圓外圍器件曝光的UV-LED光源EW01S

用于g線和i線光刻膠晶圓外圍曝光的UV-LED光源。
它可以很容易地安裝在新設(shè)備中，也可以用目前使用的紫外燈光源代替。
UV-LED的安裝通過降低功耗，減少環(huán)境影響，延長(zhǎng)光源壽命以及消除對(duì)任何機(jī)械消耗件的需求，極大地降低了客戶的運(yùn)行成本。

日本ARK用于晶圓外圍器件曝光的UV-LED光源EW01S

規(guī)范

項(xiàng)目	物質(zhì)
工作環(huán)境溫度	5~40°C（無冷凝。）
電源電壓	單相 100~240V
工頻	50/60赫茲
發(fā)射峰值波長(zhǎng)	365±5納米
光輸出穩(wěn)定性	±5%以內(nèi)
初始紫外線強(qiáng)度	2000mW/cm2以上（AT365nm，距掩模0.5mm）
強(qiáng)度分布的均勻性	10%以下（4×5mm面積）
紫外光源	紫外發(fā)光二極管
紫外光源壽命	20000，50 小時(shí)（估計(jì)使用壽命，最大驅(qū)動(dòng)電流）* 紫外線強(qiáng)度為初始強(qiáng)度的 <>% 或更多時(shí)的照明積分時(shí)間
照射開/關(guān)功能	紫外線 LED 開/關(guān)控制（通過遠(yuǎn)程和手動(dòng)控制打開/關(guān)閉）
光強(qiáng)調(diào)節(jié)功能	UV-LED電流調(diào)節(jié) 光強(qiáng)調(diào)節(jié)范圍 20~100%
外飾材料	不銹的
外部尺寸	150（寬）×200（深）×192（高）毫米